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2026-06-05 2026-10-08 2026-09-11 2026-10-13 2026-09-08 
产品型号：EXN2M-40A厂商性质：经销商更新时间：2026-06-22访 问 量：143
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ULVAC/日本爱发科高频电源系统，型号：EXN2M-40A
ULVAC/日本爱发科高频电源系统，型号：EXN2M-40A
等离子体发电电源或薄膜形成电源是一种通过在电极之间施加电压来产生等离子体的装置。
利用该技术，实现了PVD（如溅射）、CVD、蚀刻和灰化等真空工艺。
通过这些工艺，薄膜被塑造或刨削到基材和其他材料上，以创造新的附加价值。 这项技术被广泛应用于我们日常使用的产品中。
各种膜的形成创造了附加价值，改变了它们的形状，现在也被用作我们日常生活中熟悉的产品。
相关行业极为广泛，涵盖半导体和电子设备、显示器、可再生能源、储能、汽车等。 胶片材料的选择和所用工艺对胶片形成至关重要，在考虑生产效率和质量时，动力源的选择也是一个关键因素。
薄膜形成工艺包括PVD（如溅射）、CVD、蚀刻和灰化，每种工艺都需要合适的电源。
·带内置积分器的高频电源：“
型号：RMG" ·多功能高频电源系统（射频电源系统）：“型号：RF-N"
• 多种高频电源选项：“型号：MEX-N"/" 型号：EXN“ / "型号：PHS-N“ / "型号：EXO“
你可以切换匹配盒子的输出。
由于无需为每个阴极安装匹配的盒子，这大大降低了设备成本。
切换方式有两种：手动和电动机驱动。 我们还准备了水冷系统，支持更高的功耗。
它也可以用作直流电源和直流脉冲输出的切换器。
由于只使用一个匹配箱，超出匹配范围的负载不能同时使用。
| 规格 | 风冷目标选择器规格 | |||||
| EXN2T-40A | EXN3T-40A | EXN4T-40A | EXN2M-40A | EXN3M-40A | EXN4M-40A | |
| 开关触点数量 | 2分 | 3分 | 4分 | 2分 | 3分 | 4分 |
| 使用频率 | DC-13.56MHz | |||||
| 额定电流 | 40A | |||||
| 切换方法 | 手动类型 | 电式 | ||||
| 冷却方法 | 自然风冷 | |||||
| 规格 | 水冷目标选择器规格 | |||||
| EXN2T-70W | EXN3T-70W | EXN4T-70W | EXN2M-70W | EXN3M-70W | EXN4M-70W | |
| 开关触点数量 | 2分 | 3分 | 4分 | 2分 | 3分 | 4分 |
| 使用频率 | DC-13.56MHz | |||||
| 额定电流 | 70A | |||||
| 切换方法 | 手动类型 | 电式 | ||||
| 冷却方法 | 水冷 | |||||
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