ULVAC/日本爱发科高频电源系统“型号：EXO-13该单元设计为高频电源的外部振荡器电源。它可以输出13.56MHz单一频率的额定信号。
此外，该设备配备1~4个BNC输出端口，支持最多四个电源的同相高频振荡。
* 连接电源的外部输入端子必须终端为50Ω，且必须能在10mW至100mW之间工作。

Name: ULVAC/日本爱发科高频电源系统EXO-13
Brand: ULVAC/日本爱发科
Price: 99999 CNY
Availability: InStock

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产品详情

ULVAC/日本爱发科高频电源系统，型号：EXO-13

等离子体发电电源或薄膜形成电源是一种通过在电极之间施加电压来产生等离子体的装置。

利用该技术，实现了PVD（如溅射）、CVD、蚀刻和灰化等真空工艺。

通过这些工艺，薄膜被塑造或刨削到基材和其他材料上，以创造新的附加价值。这项技术被广泛应用于我们日常使用的产品中。

各种膜的形成创造了附加价值，改变了它们的形状，现在也被用作我们日常生活中熟悉的产品。

相关行业极为广泛，涵盖半导体和电子设备、显示器、可再生能源、储能、汽车等。胶片材料的选择和所用工艺对胶片形成至关重要，在考虑生产效率和质量时，动力源的选择也是一个关键因素。

薄膜形成工艺包括PVD（如溅射）、CVD、蚀刻和灰化，每种工艺都需要合适的电源。

·带内置积分器的高频电源：“

型号：RMG" ·多功能高频电源系统（射频电源系统）：“型号：RF-N"

• 多种高频电源选项：“型号：MEX-N"/" 型号：EXN“ / "型号：PHS-N“ / "型号：EXO“

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