ULVAC/日本爱发科真空输送机机器人“Model：COVOT这是一款干净且高度多功能的真空运输机器人，融合了Albac作为真空设备制造商培育的技术。

产品型号：COVOT-6-X5
厂商性质：经销商
更新时间：2026-09-15
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ULVAC/日本爱发科真空输送机机器人，型号：COVOT-6-X5

ULVAC/日本爱发科真空输送机机器人，型号：COVOT-6-X5

真空运输机器人基于作为真空设备制造商所培育的广泛技术，能够提供清洁且高度可靠的性能。我们提供多样化的产品线，兼容多种吸尘设备。我们提供多种根据设备规格量身定制的臂，如手数、转弯半径和行程。配备刚性臂和高度可靠的执行器，实现了稳定的运输能力
COVOT系列真空输送机器人能够高效运输多片晶圆，实现高通量。此外，它配备了运输过程中的自动校正功能，使其成为一台高度可靠的真空运输机器人。

特色

我们提供多种臂型，针对行程、转弯半径和运输板数量量身定制。
COVOT-CR4采用磁性流体密封，使其能够在10-6Pa的高真空条件下工作。

规格

模型		COVOT-6-X5	COVOT-CR4
工作压力范围		大气压 ~ 10-1 Pa	大气压 ~ 10-6 Pa
晶圆尺寸		200/300毫米	200/300毫米
持有的晶圆数量		4张纸	2张纸
最大距离 *		880毫米	1050毫米
旋转角		360° 无尽	±180°
抬力行程		110毫米	120毫米
最小转弯直径 *		980毫米	960毫米
载荷能力（包括手部）		1公斤	1公斤
工作速度	扩张与收缩	最大1.5秒/全行程	最大 1.5 秒/780mm
	转过身	最大2.0秒 / 180°	最大2.0秒 / 180°
	上升与下降	最大1.5秒 / 20毫米	最大3.5秒 / 105毫米
重复定位精度	扩张与收缩	±0.1毫米	±0.1毫米
	转过身	±0.1毫米	±0.1毫米
	上升与下降	±0.1毫米	±0.1毫米
教学吊坠		附属	附属
控制器		分开	分开

*具体情况取决于安装的手臂和手型。

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