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ULVAC/日本爱发科真空输送机机器人

ULVAC/日本爱发科真空输送机机器人“Model:ELEC-RZ是一款具备高真空能力的运输机器人,基于“COVOT型号"的功能和性能,实现了紧凑性和成本降低。

  • 产品型号:ELEC-RZ
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2026-09-15
  • 访  问  量:247
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产品详情

ULVAC/日本爱发科真空输送机机器人,型号:ELEC-RZ

ULVAC/日本爱发科真空输送机机器人,型号:ELEC-RZ

真空运输机器人基于作为真空设备制造商所培育的广泛技术,能够提供清洁且高度可靠的性能。我们提供多样化的产品线,兼容多种吸尘设备。 我们提供多种根据设备规格量身定制的臂,如手数、转弯半径和行程。 配备刚性臂和高度可靠的执行器,实现了稳定的运输能力

特色

  • 磁性流体密封用于真空密封,支持高达10-6Pa的高真空水平。

  • 通过微型化执行器,我们实现了更紧凑的设计,并使设备安装更加便捷。

  • 根据划桨、转弯半径、手数等,有多种手臂可供选择。

  • 它配备了多功能教学吊坠,使用性。

规格

模型ELEC-RZ
工作压力范围大气压 ~ 10-6 Pa
晶圆尺寸200毫米/300毫米
持有的晶圆数量1 / 2 件
最大距离 *1050毫米
旋转角±210°
抬力行程50毫米
最小转弯直径 *配备964毫米安装臂
载荷能力(包括手部)1公斤
工作速度扩张与收缩最大2.5秒/全行程
转过身最大3.0秒 / 180°
上升与下降最大1.5秒 / 20毫米
重复定位精度扩张与收缩±0.1毫米
转过身±0.1毫米
上升与下降±0.1毫米
教学吊坠附属
控制器分开
*具体情况取决于安装的手臂和手型。









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