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2026-09-07
2026-09-11
2026-04-14
2026-09-08
2026-09-17

产品型号:ELEC-RZ
厂商性质:经销商
更新时间:2026-09-15
访 问 量:247
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ULVAC/日本爱发科真空输送机机器人,型号:ELEC-RZ
ULVAC/日本爱发科真空输送机机器人,型号:ELEC-RZ
真空运输机器人基于作为真空设备制造商所培育的广泛技术,能够提供清洁且高度可靠的性能。我们提供多样化的产品线,兼容多种吸尘设备。 我们提供多种根据设备规格量身定制的臂,如手数、转弯半径和行程。 配备刚性臂和高度可靠的执行器,实现了稳定的运输能力
磁性流体密封用于真空密封,支持高达10-6Pa的高真空水平。
通过微型化执行器,我们实现了更紧凑的设计,并使设备安装更加便捷。
根据划桨、转弯半径、手数等,有多种手臂可供选择。
它配备了多功能教学吊坠,使用性。
| 模型 | ELEC-RZ | |
| 工作压力范围 | 大气压 ~ 10-6 Pa | |
| 晶圆尺寸 | 200毫米/300毫米 | |
| 持有的晶圆数量 | 1 / 2 件 | |
| 最大距离 * | 1050毫米 | |
| 旋转角 | ±210° | |
| 抬力行程 | 50毫米 | |
| 最小转弯直径 * | 配备964毫米安装臂 | |
| 载荷能力(包括手部) | 1公斤 | |
| 工作速度 | 扩张与收缩 | 最大2.5秒/全行程 |
| 转过身 | 最大3.0秒 / 180° | |
| 上升与下降 | 最大1.5秒 / 20毫米 | |
| 重复定位精度 | 扩张与收缩 | ±0.1毫米 |
| 转过身 | ±0.1毫米 | |
| 上升与下降 | ±0.1毫米 | |
| 教学吊坠 | 附属 | |
| 控制器 | 分开 | |

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