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2026-10-09 2026-09-16 2026-09-20 2026-09-07 2026-09-11 
产品型号：VPC-061厂商性质：经销商更新时间：2026-06-22访 问 量：158
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ULVAC/日本爱发科小型真空沉积装置，型号：VPC-061
ULVAC/日本爱发科小型真空沉积装置，型号：VPC-061
薄膜形成装置是一种在硅晶圆等基板上形成薄膜的装置。
Albac 的紧凑型实验室薄膜沉积设备提供高精度薄膜成型技术，非常适合研发和小规模生产。 其紧凑的设计使得即使在有限空间内也能高效使用。
气相沉积是一种将金属或氧化物等物质汽化并沉积在基板表面以形成薄膜的技术。
在气相沉积过程中，目标材料首先在真空腔室内通过电阻加热、电子束加热或激光加热等方法进行加热和蒸发。蒸汽通过真空向基板移动，在真空环境中扩散最小化，然后到达基板表面，冷凝形成具有均匀且高质量特性的薄膜。
其桌面和紧凑的尺寸使安装节省空间。
玻璃贝尔罐让内部易于查看，且操作性较好。
可以在不停止主泵的情况下打开真空罐。
| 模型 | VPC-061 | |
| 真空性能 | 到达压力 | 1.3×10-3Pa 6.6×10-4Pa（使用液氮时） |
| 排气时间 | 4.0×10-3Pa/20分钟 1.3×10-3Pa/20分钟（使用液氮时） | |
| 真空室 | 真空室 | 玻璃贝尔贾尔（内径Φ150mm×高度200毫米） |
| 输入色彩 | 3个接口（底部3个） | |
| 推荐和最大板尺寸 *1 | □ 25毫米· □50毫米（最大） | |
| 电源系统 | 蒸汽发生器配置 | 1点 |
| 蒸发动力源与数量 | SEREM PSE-150C - 1 型 0~10V 150A（最大型） | |
| 排气系统 | 主泵 | 油扩散泵（风冷）50升/秒 |
| 液氮陷阱 | 存在 | |
| 辅助泵 | 油转真空泵 20升/分钟 | |
| 油雾陷阱 | 选项 | |
| 操作系统 | 主阀 | 蝶阀 |
| 辅助阀 | 三通阀 | |
| 自动泄漏阀 | — | |
| 运营 | 手动挡 | |
| 控制系统 | 皮拉尼真空计 | 选项 |
| 电离真空计 | 选项 | |
| 背景设定 | 最大尺寸主体 | 434毫米（宽）×422毫米（深）×673毫米（高） |
| 电源 | 480毫米（宽）×435.3毫米（深）×149毫米（高） | |
| 质量：主体 | 28公斤 | |
| 电源 | 40公斤 | |
*1：最大基底尺寸是指不考虑胶片厚度分布时的值。
| 模型 | VPC-061 | |
| 所需时间 | 主体 | 100伏单相50/60Hz 0.63kVA |
| 电源 | 200V 单相 50/60Hz 1.5kVA | |
| 地面终端 | D型（接地电阻值100Ω或以下） | |
| 竞争 | 主单元：1Φ 100V | 乙烯基Captire电缆（带插头）2米 |
| 电源：1Φ 200V | 乙烯基Captire电缆（R2.0-5带压接端子）2米 | |
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