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2026-10-09 2026-09-16 2026-09-20 2026-09-07 2026-09-11 
产品型号：VTR-060M/ERH厂商性质：经销商更新时间：2026-06-22访 问 量：200
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ULVAC/日本爱发科小型真空沉积装置，型号：VTR-060M/ERH
ULVAC/日本爱发科小型真空沉积装置，型号：VTR-060M/ERH
薄膜形成装置是一种在硅晶圆等基板上形成薄膜的装置。
Albac 的紧凑型实验室薄膜沉积设备提供高精度薄膜成型技术，非常适合研发和小规模生产。 其紧凑的设计使得即使在有限空间内也能高效使用。
气相沉积是一种将金属或氧化物等物质汽化并沉积在基板表面以形成薄膜的技术。
在气相沉积过程中，目标材料首先在真空腔室内通过电阻加热、电子束加热或激光加热等方法进行加热和蒸发。蒸汽通过真空向基板移动，在真空环境中扩散最小化，然后到达基板表面，冷凝形成具有均匀且高质量特性的薄膜。
| 模型 | VTR-060M/ERH | |
| 真空性能 | 到达压力 | 10-4平台（真空层内无负载清洗）： 1.5×10-3PA（可选规范） |
| 排气时间 | 4.0×10-3Pa/20分钟（真空室内无负载清洁） | |
| 真空室 | 真空室 | 圆柱形玻璃腔体（Φ236mm×H250mm） |
| 底板 | 7个端口（底部） | |
| 棋盘尺寸与最大尺寸 | □ 25毫米· □50毫米（最大） | |
| 电源系统 | 蒸汽发生器配置 | 1点 |
| 蒸发动力源与数量 | SEREM/PSE-150C - 一组 0~10V 80A（最大功率） | |
| 排气系统 | 主泵 | 涡轮分子泵（风冷）60升/秒 |
| 辅助泵 | 油转真空泵 20升/分钟 | |
| 油雾陷阱 | OMT-050A | |
| 操作系统 | 主阀 | 选项（蝶阀） |
| 辅助阀 | 可选（三通阀） | |
| 自动泄漏阀 | 选件（电磁阀） | |
| 真空室通风阀 | 选项（泄漏口） | |
| 运营 | 手动挡 | |
| 控制系统 | 真空计 | Options（ISG1） |
| 胶片厚度计 | 选项（CRTM-6000G） | |
| 背景设定 | 最大尺寸主体 | 428毫米（宽）×438毫米（深）×713毫米（高） |
| 电源 | 480毫米（宽）×435.3毫米（深）×149毫米（高） | |
| 质量：主体 | 50公斤 | |
| 电源 | 24公斤 | |
| 模型 | VTR-060M/ERH | |
| 所需时间 | 主体 | 100伏单相50/60Hz 0.6kVA |
| 电源 | 100V 单相 50/60Hz 0.8kVA | |
| 竞争 | 主单元：1Φ 100V | 带插头的乙烯基Captire线缆4米 |
| 电源：1Φ 200V | 带插头的乙烯基Captire线缆4米 | |
* 请准备两个地面电源插座
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