OHKURA/大仓解调器立式热处理炉控制器DF1600该设备是一种立式热处理炉（扩散炉），用于半导体制造的热处理过程。目前，半导体制造领域的工艺正从大规模生产转向小批量、多品种生产。该设备容量小，能够高速处理，并设计用于安装在现有的无尘室中。

产品型号：DF1600系列
厂商性质：经销商
更新时间：2026-10-10
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联系电话：0592-6689389

OHKURA/大仓解调器立式热处理炉控制器DF1600系列

特色

■ 高速温度调节（FTP兼容）
采用垂直电阻加热方法的独特加热器实现快速升温和高温，单台处理快速温度变化和常规处理。

■ 我们独特的晶圆转移系统通过采用
专有晶圆转移系统，我们实现了高度可靠的驱动元件。

■ 锯齿转换机制
船侧沟槽桨距可转换为晶圆转移所需的任意锯距。（设定范围：4.76~9.52毫米）晶圆传输通过盒带对盒进行。

■ 注重
生产力和操作性的设备：控制单元采用带触摸面板的TFT面板，实现了较好的生产力和操作性。

■ 可
进行低温晶圆进入。可进行低温晶圆进入。它显著减少了大气膨胀的影响。

■ 安全简便的反应管安装与拆卸使用
自动电梯，您可以更安全、更轻松地安装和拆卸反应管。

■ 独特的温控系统
：加热器和温控系统采用独特方法，显著提升了温度恢复特性。

■ 可维护性：设计时考虑了可维护性和可操作性，即使
多单元同时部署也不会受到影响。

规格

● 基本规格
结构	垂直向下开启法
加工晶圆直径	φ100mm~φ200mm
加工方法	批量处理：50张/批量处理
磁带存储	最多9盒磁带，包括进程盒、显示器盒和假盒
流程	湿式、干式、退火、烘烤等
燃气使用量	N2、O2、H2等
硅片处理	5张纸/1张转页
温度升降速率	加热最高100°C /min，冷却最高50°C/min

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