OHKURA/大仓解调器水平热处理炉控制器DF1000该设备是是一种在半导体制造过程中进行热处理的系统。该结构水平安装加热室，堆叠2~4层，有效利用垂直空间。热处理类型包括扩散和氧化，处理温度范围从低到高不等。使用我们自有的高性能控制器，我们处理多种工艺。

产品型号：DF1000系列
厂商性质：经销商
更新时间：2026-10-10
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联系电话：0592-6689389

OHKURA/大仓解调器水平热处理炉控制器DF1000系列

特色

■ 改进
的热分布特性：结合工作温度定制加热器和我们专有高性能控制器，实现“稳定的温度控制和散热长度"。

■ 兼容100~200毫米晶圆。
扩散炉系统范围为φ100毫米至φ200毫米，满足客户需求。

■ 易于维护：结构允许
在其他加热器加热时安全更换热电偶和加热器。

■ 成本效益
：通过精心挑选的零件和精简结构实现低价。

■ 兼容续期：最小
化外部尺寸以适应旧有且有限系统的续期。

规格

晶圆尺寸	~φ200毫米	~φ150毫米	~φ125毫米	~φ100毫米
炉体尺寸 *1	宽 2650毫米×深 1200毫米× 高 2580毫米	宽2300毫米× 深850毫米× 高2395毫米	宽2180毫米× 深850毫米× 高2395毫米	宽 1850毫米×深 700毫米× 高 2150毫米
散热长度 *2	900毫米±1.0°C （无气体）	900毫米±1.0°C （无气体）	800毫米±1.0°C （无气体）	800毫米±1.0°C （无气体）
温度范围	600~1200°C	600~1200°C	600~1200°C	600~1200°C
温度控制	三区独立控制	三区独立控制	三区独立控制	三区独立控制
交通系统（可选）	软装载船电梯	软装载船升降船装载机	软装载船升降船装载机	装船员

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