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日本SONIC索尼克超声微流体流量计

日本SONIC索尼克超声微流体流量计μLF-300S
瞬时及累计流量输出 ·专用观察器:配备远程操作和维护功能

  • 产品型号:μLF-300S
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2026-07-24
  • 访  问  量:240
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产品详情

日本SONIC索尼克超声微流体流量计μLF-300S

日本SONIC索尼克超声微流体流量计μLF-300S

用于
半导体制造工艺中微小区域的流量管理,如异丙醇、纯水和化学溶液
:·从1毫升/分钟测量超小流量
・利用数字信号处理
高精度测量超高流量 ・传感器部分不接触流体
·广域能力

μLF-300

类型μLF-300S + μLT-8I(1/8英寸)或μLF-300S + μLT-4I(1/4英寸)
测量原则超声传播时差法
测量液体纯水、水溶液、各种化学溶液
* 请提前确认液体是否除水
合适的流体温度范围如果您计划在15°C~80°C
* 60°C或更高使用,请提前确认。
流体压力低于0.5MPa
流体运动学粘度100mm^2/秒或更小
流量范围0 ml/min ~ 1000 ml/min(μLF-300S + μLT-8I)
0 ml/min ~ 4000 ml/min(μLF-300S + μLT-4I)
测量精度±0.5%RD(1/8英寸:200 ~ 1000 ml/min 状态:室温,恒温水)
±1 ml/min(1/8英寸:0 ~ 199 ml/min)
±0.5% RD(1/4英寸:800 ~ 4000 ml/min 状况:室温,恒温水)
±4 ml/min(1/4英寸:0 ~ 799毫升/分钟)
重复性±0.2%(纯净液体温度±0.5°C,平均30秒)
电源直流24V ±10%
功耗低于3.6瓦
重量转换器240克,探测器70克
尺寸:宽×宽×深(毫米)转换器:97 x 49 x 127;
检测单元:90 x 25 x 20(不含电子管)
探测单元
电子管材料PFA(氟树脂)
管径1/8英寸外径:3.17毫米,内径:2.17毫米,1/4英寸外径:6.35毫米,内径:4.35毫米
结构相当于IP65
包含的有线电视5米,连接器连接
输入单元
数字输出4线RS-422,4线RS-485
模拟输出4-20mA(瞬时流量),负载电阻低于500Ω
累积脉冲输出1ch(开放收集器)
报警输出1ch(开放收集器)
接触输入1CH(零流量设置或净积水)
密钥输入4. 输入按钮


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