产品分类·product

我们相信合格的产品是信誉的保证！

ULVAC爱发科

液氮发生器小型真空沉积装置电源真空阀控制器泄漏检测器气体监测仪真空计油扩散真空泵斯帕特昂泵排气单元机械助力泵油转真空泵涡轮分子泵干式真空泵

查看全部产品 >>

相关文章·articles

助力客户实现更高价值的合作伙伴！

产品中心/ products

您的位置：首页 - 产品中心 - ULVAC爱发科 - 干式真空泵 - ESR20N低功耗干式真空泵设备

低功耗干式真空泵设备

日本EBARA/荏原低功耗干式真空泵设备体积小巧、节能，且一台设备可覆盖多种工艺
EBARA（荏原）干式真空泵是日本荏原制作所的核心产品，以无油洁净、高耐腐蚀、节能低噪著称，广泛用于半导体、光伏、化工等高要求工况。

产品型号：ESR20N
厂商性质：经销商
更新时间：2026-06-15
访问量：164

联系电话：0592-6689389

日本EBARA/荏原低功耗干式真空泵设备优势

无油、干净的真空

可以从大气压到高真空无需定期维护，如加水或更换机油

节能且紧凑的设计。令人安心的*支持和丰富的产品阵容

Ebara干式真空泵以节能和小巧著称，广泛应用于多个领域。独特优化的旋翼设计提高了压缩效率，实现了低功耗。由于其紧凑轻便的设计，能够安装在有限的空间内，且易于搬迁。我们已向*出货超过20万台*，活跃于多个领域，主要集中在半导体行业，对性能和可靠性的要求非常严格。

干式真空泵是一种不使用油或液体密封的非接触式真空泵。它们实现了干净的真空，没有水和油的回流或扩散。此外，无需定期维护，如加水或更换水或机油，操作非常简单。它是半导体制造工艺和FPD/LED/太阳能电池制造过程中的泵，这些工艺强调清洁性。近年来，它们的应用范围扩大，因为它能够轻松、干净地从质谱仪和电子显微镜等分析仪中提取气体。此外，由于清洁的真空和便捷的维护，它们也被应用于真空干燥工艺和薄膜沉积工艺等多种领域。

日本EBARA/荏原低功耗干式真空泵设备

ESR系列

低功耗干式真空泵特色与优势

凭借EBARA独特的旋翼设计和怠速功能，ESR系列实现了低功耗和小体积。有助于降低运行成本。凭借增强的耐腐蚀选项，该型号涵盖从轻载工艺如负载锁和SEM到腐蚀工艺的广泛应用。

低功耗干式真空泵，适用于腐蚀性工艺应用

低功耗
耐腐蚀材料选项
无论频率如何（50/60 Hz）泵送性能相同
无油
可获得CE认证/半级S2/NRTL认证
规格

类型		单位	ESR20N	ESR30	ESR30N	ESR500W（N）
冷却水	流量	L/min	2~8	3.5~8	3.5~8	3.5~8
冷却水	温度	°C	最多30人	最多30人	最多30人	最多30人
电源	功率容量	kVA	4	7	7	12.3
抽水速度		L/min	1300 ~ 2000	3000	3000	46000
压力			2	0.53	0.67	0.2
连接	入海口		NW40	NW50	NW50	ISO160
连接	出口		NW40	NW40	NW40	NW40
极限压力下的近似功率		千瓦	0.7	1.7	1.7	3.1
N2	流量	Pa•m3/s	19~22 （0）	19~22 （3.4）	19~22 （3.4）	19~22 （3.4）
电源相位/电压/频率。	200V型号		三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz	三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz	三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz	三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz
电源相位/电压/频率。	400V型号		三相/380-400伏/50赫兹三相/380-440伏/60赫兹	三相/380-400伏/50赫兹三相/380-440伏/60赫兹	三相/380-400伏/50赫兹三相/380-440伏/60赫兹	三相/380-400伏/50赫兹三相/380-440伏/60赫兹
重量		KG	90	190	190	500

典型应用

低功耗干式真空泵选型要点：

抽速：按腔体大小与抽气时间选择（50–80000L/min 全覆盖）。
真空度：一般工艺 1–5Pa，半导体超高洁净≤0.1Pa。
气体特性：腐蚀性选 Ni‑Resist 材质；可凝气体选带加热的 EV‑L 系列EBARA CORPORATION。
冷却方式：小功率风冷，大功率水冷。

典型应用：
半导体：刻蚀、CVD、MOCVD、离子注入、SiC 工艺。
光伏 / 面板：镀膜、溅射、真空干燥
化工：腐蚀性气体输送、蒸馏、结晶。
分析仪器：质谱、电镜等高真空系统

在线咨询

上一篇：EMT1700MK超高真空涡轮分子泵
下一篇：TND系列低消耗干式真空泵燃烧型排气减排系统

返回列表

日本EBARA/荏原低功耗干式真空泵设备体积小巧、节能，且一台设备可覆盖多种工艺
EBARA（荏原）干式真空泵是日本荏原制作所的核心产品，以无油洁净、高耐腐蚀、节能低噪著称，广泛用于半导体、光伏、化工等高要求工况。

日本EBARA/荏原低功耗干式真空泵设备优势

无油、干净的真空

ESR系列

低功耗干式真空泵特色与优势

典型应用

低功耗干式真空泵选型要点：

留言框

产品：

您的单位：

您的姓名：

联系电话：

常用邮箱：

省份：

详细地址：

补充说明：

验证码：

日本EBARA/荏原低功耗干式真空泵设备体积小巧、节能，且一台设备可覆盖多种工艺EBARA（荏原）干式真空泵是日本荏原制作所的核心产品，以无油洁净、高耐腐蚀、节能低噪著称，广泛用于半导体、光伏、化工等高要求工况。

日本EBARA/荏原低功耗干式真空泵设备优势

无油、干净的真空

ESR系列

低功耗干式真空泵特色与优势

典型应用

低功耗干式真空泵选型要点：

留言框

产品：

您的单位：

您的姓名：

联系电话：

常用邮箱：

省份：

详细地址：

补充说明：

验证码：

日本EBARA/荏原低功耗干式真空泵设备体积小巧、节能，且一台设备可覆盖多种工艺
EBARA（荏原）干式真空泵是日本荏原制作所的核心产品，以无油洁净、高耐腐蚀、节能低噪著称，广泛用于半导体、光伏、化工等高要求工况。