日本EBARA/荏原低消耗干式真空泵燃烧型排气减排系统，氮氧化物排放低，反应副产物充足，以降低维护成本。
EBARA（荏原）干式真空泵是日本荏原制作所的核心产品，以无油洁净、高耐腐蚀、节能低噪著称，广泛用于半导体、光伏、化工等高要求工况。

Name: 低消耗干式真空泵燃烧型排气减排系统TND系列
Brand: EBARA/荏原
Price: 99999 CNY
Availability: InStock

立即咨询

联系电话：0592-6689389

产品详情

日本EBARA/荏原低消耗干式真空泵燃烧型排气减排系统

可以从大气压到高真空无需定期维护，如加水或更换机油

节能且紧凑的设计。令人安心的*支持和丰富的产品阵容

Ebara干式真空泵以节能和小巧著称，广泛应用于多个领域。独特优化的旋翼设计提高了压缩效率，实现了低功耗。由于其紧凑轻便的设计，能够安装在有限的空间内，且易于搬迁。我们已向*出货超过20万台*，活跃于多个领域，主要集中在半导体行业，对性能和可靠性的要求非常严格。

日本EBARA/荏原低消耗干式真空泵燃烧型排气减排系统

燃烧型排气减排系统
低氮氧化物和低一氧化碳排放
多种气体类型的批量处理
高效消灭前层叶
副产物去除措施/粉末状副产物的自动去除
湿-燃烧-湿式模型可选
长时间维护间隔
低运行成本
特色与优势
TND系列是一种燃烧型排气减排系统，采用独特的燃烧系统以实现低氮氧化物和低一氧化碳排放。多种腐蚀和副产品对策实现了比传统产品的三倍长维护周期。低公用事业消耗也带来了较低的运行成本。该系列包括 TND-Single（燃烧+湿式）和 TND-Single Plus（湿式+燃烧+湿式）。该系列即使在高副产物产生的工艺中，也能实现低运行成本和高效的消融
规格

Type	Unit	TND-Single A1-A4/ TND-Single P1~P4	TND-Single Plus-A1~A4/P1~P4
Abatement method		burn+ wet	wet + burn + wet
Max. inflow gas volume	L/min	200(per port） 400(per burner）	200(per port） 400(per burner）
Fuel		City gas or propane gas	City gas or propane gas
Dimensions	W x D x H mm	1,200 x 650 x 1,980	1,200 x 650 x 1,980
Gases (e.g.)		Process (depo) gases SiH4, PH3, GeH4, AsH3, NH3, SiH2Cl2, B2H6, H2, PH3, Si3H8, etc. Cleaning gases - all types NF3, ClF3, HF, F2, HCl, COF2, etc. Etching gases – all types HBr, Cl2, SiCl4, BCl3, CO, C5F8, C4F6, etc.	Process (depo) gases WF6, TiCl4, SiH4, PH3, GeH4, NH3, SiH2Cl2, TEOS, B2H6, H2, etc. Cleaning gases - all types NF3, ClF3, HF, F2, HCl, COF2, etc. Etching gases – all types HBr, Cl2, SiCl4, BCl3, CO, C5F8, C4F6, etc. PFCs CF4, C2F6, C3F8, CHF3, SF6, etc.
Standard equipment		Washing mechanism for powder removal Burner scraper for powder removal	Powder filtering mechanism Burner scraper for powder removal
Options		City water/drainage consumption reduction unit Fan scrubber for reduction of powder emissions	City water/drainage consumption reduction unit Fan scrubber for reduction of powder emissions

在线咨询

返回列表